百级模块化洁净室(ISO
5 级)的核心是通过 “单向流气流” 实现极致洁净 —— 需让洁净空气以均匀流速形成 “活塞效应”,强制排出污染物,而顶部的
FFU(风机过滤单元)、灯具、控温设备作为关键组件,其布置必须以 “不破坏气流稳定”
为前提,同时满足照明与温度控制需求。以下结合百级洁净室的特性,拆解各组件的布置逻辑与实操要点。

FFU 是百级洁净室的 “气流动力源”,需通过满布安装确保气流均匀性,避免出现涡流或气流死角,布置时需注意两点:
满布率与安装精度:
百级洁净室要求
FFU 满布率≥90%(部分高要求场景需 100% 满布),且需通过铝型材框架固定在顶棚,框架与 FFU
的接缝处用密封胶填充,防止未过滤空气从缝隙渗入。安装时需校准 FFU 的水平度,确保每台 FFU 的出风风速一致(通常控制在
0.3-0.5m/s),避免因风速差异导致气流紊乱,影响洁净度。
与其他设备的间距预留:
若顶棚需同步安装灯具、传感器(如粒子计数器探头),需在 FFU 布局中预留微小间距(通常≤10cm),且预留位置需避开气流主通道,防止遮挡气流形成局部死角 —— 例如将传感器安装在 FFU 之间的框架上,既不影响气流,又能精准监测洁净度。
百级洁净室的顶棚因 FFU 满布,几乎无多余空间安装普通灯具,且灯具形状、安装位置若不当,会破坏单向流气流,因此需专项设计:
灯具类型:优先泪珠式荧光灯
普通吸顶灯或筒灯的
“凸起结构” 会阻碍气流,易产生涡流,而泪珠式荧光灯(又称
“流线型洁净灯”)采用弧形外壳设计,气流可沿灯体顺畅流过,几乎不产生气流干扰,是百级洁净室的最优选择。这类灯具还具备 “无积尘、易清洁”
特性,外壳采用不锈钢材质,避免颗粒脱落污染环境。
安装位置:高效过滤器框架下侧
无需占用
FFU 上方空间,直接将泪珠式荧光灯固定在高效过滤器的专用铝型材框架下侧,与 FFU 出风面平齐 ——
既保证照明光线均匀覆盖地面(照度通常要求≥300lux),又不会遮挡气流。灯具长度需根据 FFU 间距匹配(如 1.2m 长 FFU 对应
1.2m 长灯具),避免出现照明暗区,确保生产或实验操作时视野清晰。
百级洁净室的温度需稳定在 20-24℃(温差≤±1℃),控温设备的布置需结合外部环境,分两种情况设计:
依托外部空调:利用车间整体控温
若百级模块化洁净室位于已有大型空调机组的车间内(如半导体工厂的洁净区),可直接利用车间空调的回风系统
—— 外部空调将恒温空气送入洁净室顶棚上方的静压箱,再通过 FFU
过滤后形成单向流,无需在洁净室顶部额外安装空调,既节省空间,又避免设备干扰气流。此时需确保车间空调的风量、温湿度与洁净室需求匹配,避免出现局部温度波动。
独立控温:采用双层顶棚设计
若洁净室所在环境无空调,或外部温度与洁净室需求不符(如高温车间),需在洁净室顶部设计 “双层顶棚”:
上层顶棚:安装吸顶式洁净空调(需选用低噪音、易清洁的洁净专用机型),空调出风口朝向静压箱,通过静压箱均匀分配冷风 / 热风,实现温度调节;
下层顶棚:满布 FFU,将上层空调处理后的恒温空气过滤后,以单向流形式送入洁净室。
双层结构可让空调气流与 FFU 气流 “分层作用”,避免空调风直接冲击 FFU 出风,确保单向流稳定,同时满足控温需求。
百级模块化洁净室顶部的
FFU、灯具、控温设备布置,始终围绕 “不破坏单向流气流” 这一核心:FFU
满布确保气流均匀,泪珠灯流线型设计减少气流干扰,双层顶棚实现控温与气流的分离。只有让各组件协同工作,才能在保证百级洁净度的同时,满足照明、控温等实用需求,为微电子、光学、精密制造等场景提供稳定的洁净环境。