无尘室的洁净度,离不开足够的送风量作为
“底气”——
只有持续送入经过过滤的洁净空气,才能及时带走灰尘、平衡温湿度,最终达到预设的净化等级。那么,不同等级的无尘室,送风量到底该如何确定?2013
年国内《洁净厂房设计规范》早已给出明确答案:送风量需取三项中的最大值,缺一不可。

洁净度等级是送风量的核心参考,不同等级对应不同的气流形式(单向流或非单向流),风量计算逻辑也因此不同:
除了洁净度,无尘室的温湿度稳定同样依赖送风量。设备散热(如光刻机、烘箱)、人员产热、物料带入的湿气,都会导致室内温湿度波动,这时候就需要通过额外送风量来平衡:
无尘室不是 “密不透风的盒子”,必须保证新鲜空气供给,具体需满足两个条件中的最大值:
补偿排风 + 维持正压:
无尘室通常有局部排风(如焊接区排烟、设备排气),同时需保持正压(防止外界污染侵入),这两者都需要新鲜空气补充。例如,某车间每小时排风 1000m³,维持正压需补充 500m³,则新鲜空气量至少为 1500m³/h。
人员新风标准:
为保障室内人员健康,每人每小时的新鲜空气量不得少于 40m³。若车间有 20 人工作,则至少需要 800m³/h 的新鲜空气。
最终新鲜空气量需取两者中的较大值 —— 比如上述案例中,1500m³/h(补偿排风 + 正压)>800m³/h(人员需求),则按 1500m³/h 计算。
规范中 “取三项最大值” 的要求,本质是确保无尘室同时满足 “洁净度达标、环境稳定、人员舒适” 三大目标。例如:
高等级无尘室(如 ISO 5 级)可能因风速要求,第一项风量最大;
高温高湿环境下的车间,第二项热湿负荷计算的风量可能成为主导;
人员密集且排风量大的车间,第三项新鲜空气量可能是 “天花板”。
设计时,需结合具体等级、工艺设备、人员数量等因素综合核算,才能让送风量既 “够用” 又不 “浪费”—— 这正是无尘室空气净化系统精准性的体现。