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不同等级无尘室送风量怎么定?
[2025-08-15]

无尘室的洁净度,离不开足够的送风量作为 “底气”—— 只有持续送入经过过滤的洁净空气,才能及时带走灰尘、平衡温湿度,最终达到预设的净化等级。那么,不同等级的无尘室,送风量到底该如何确定?2013 年国内《洁净厂房设计规范》早已给出明确答案:送风量需取三项中的最大值,缺一不可。


无尘室


一、按洁净度等级算
洁净度等级是送风量的核心参考,不同等级对应不同的气流形式(单向流或非单向流),风量计算逻辑也因此不同:

    ISO 1-5 级(百级及以上):采用单向流(层流)设计,送风量按 “风速” 计算。
    ISO 1-3 级:平均风速需达到 0.3-0.5m/s(如芯片光刻间,需高速气流强制带走微小颗粒);
    ISO 4-5 级:平均风速控制在 0.2-0.4m/s(如精密仪器组装区,兼顾洁净与节能)。
    这类高等级无尘室的送风量,本质是通过 “活塞式气流” 将污染物 “推” 出洁净区,风速一旦不达标,微粒就可能在局部积聚。

    ISO 6 级及以下:采用非单向流(乱流)设计,送风量按 “换气次数” 计算。
    ISO 6 级:每小时换气 50-60 次(如半导体封装车间,需高频次空气循环稀释污染);
    ISO 7 级(万级):每小时换气 15-25 次(如电子元件测试区);
    ISO 8-9 级(十万级及以下):每小时换气 10-15 次(如食品包装车间)。
    注意:这一换气次数适用于层高<4 米的无尘室,若室内人员密集、设备产尘多,需取上限值;反之可取下限值。

二、按热湿负荷算
除了洁净度,无尘室的温湿度稳定同样依赖送风量。设备散热(如光刻机、烘箱)、人员产热、物料带入的湿气,都会导致室内温湿度波动,这时候就需要通过额外送风量来平衡:
    例如,某 ISO 7 级电子车间内,10 台焊接设备每小时产生 50kW 热量,单纯靠洁净等级要求的 15 次换气无法降温,就需按热负荷计算补充送风量,确保温度稳定在 22±1℃。
    湿负荷同理:潮湿地区的无尘室,若工艺要求湿度≤50%,可能需要增加送风量,通过干燥的洁净空气带走多余水汽。

三、按新鲜空气量算
无尘室不是 “密不透风的盒子”,必须保证新鲜空气供给,具体需满足两个条件中的最大值:

    补偿排风 + 维持正压:
    无尘室通常有局部排风(如焊接区排烟、设备排气),同时需保持正压(防止外界污染侵入),这两者都需要新鲜空气补充。例如,某车间每小时排风 1000m³,维持正压需补充 500m³,则新鲜空气量至少为 1500m³/h。

    人员新风标准:
    为保障室内人员健康,每人每小时的新鲜空气量不得少于 40m³。若车间有 20 人工作,则至少需要 800m³/h 的新鲜空气。

最终新鲜空气量需取两者中的较大值 —— 比如上述案例中,1500m³/h(补偿排风 + 正压)>800m³/h(人员需求),则按 1500m³/h 计算。

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