洁净室的气流方式是维持其洁净度的核心要素之一，直接影响空气中悬浮粒子的控制效率、区域压差稳定性及温湿度均匀性。不同气流方式适用于不同洁净度等级和工艺需求，以下是常见的气流方式分类及特点：

一、按气流组织形式分类

1. 单向流（Unidirectional Flow）

• 垂直单向流：

  • 气流路径：空气从顶部高效过滤器（HEPA/ULPA）垂直向下送风，经地面回风口或格栅回风。

  • 特点：

    • 洁净度极高，可快速清除工作区产生的粒子，形成 “无菌屏障”；

    • 送风均匀性好，能覆盖较大区域，但顶部需满布过滤器，成本较高；

    • 适用于：无菌灌装区、半导体光刻区、生物安全柜操作区等对微粒敏感的场景。

• 水平单向流：

  • 气流路径：空气从一侧墙满布的过滤器水平送风，经对侧墙回风口回风。

  • 特点：

    • 气流沿水平方向推进，适用于狭长型洁净室（如工作台生产线）；

    • 需注意气流方向与操作人员站位的配合（避免人员位于气流上游），否则易污染工作区；

    • 适用于：电子元件装配线、精密仪器检测区等。

2. 非单向流（Non-unidirectional Flow）

• 气流路径：空气经顶部或侧部的高效过滤器送风，在室内扩散混合后，从下部或侧部回风口排出。

• 特点：

  • 依赖 “换气次数” 控制洁净度（通常 10-60 次 / 小时），换气次数越高，洁净度相对越好；

  • 成本较低，施工简便，适合大面积洁净室（如食品加工车间、医疗器械组装区）；

  • 局限性：粒子易在局部区域积聚，洁净度均匀性较差，无法完全避免交叉污染。

3. 混合流（Mixed Flow）

• 典型场景：

  • 洁净室中央为垂直单向流工作台，周边区域采用顶部乱流送风；

  • 适用于 “局部高洁净 + 整体中洁净” 的需求（如实验室精密仪器区与辅助区结合）。

二、按送风 / 回风方式分类

• 顶送下回：顶部送风、地面回风（垂直单向流常用），适合大面积高洁净区；

• 顶送侧回：顶部送风、侧墙下部回风（非单向流常用），节省地面空间；

• 侧送侧回：单侧墙送风、对侧墙回风（水平单向流或狭长区域常用）；

• 局部送风：通过 FFU（风机过滤器单元）、洁净工作台等设备，仅对特定区域送风，针对性控制局部洁净度（如小型实验台、维修工位）。

三、气流方式选择的核心依据

1. 洁净度等级：A 级 / ISO 5 级及以上必须用单向流；B-D 级 / ISO 6-9 级可采用非单向流或混合流。

2. 工艺需求：

   • 若需避免粒子沉降（如半导体晶圆、无菌药品），优先单向流；

   • 若仅需控制整体微粒浓度（如食品包装），非单向流更经济。

3. 空间限制：狭长区域适合水平单向流，层高有限时可采用局部 FFU 送风。

4. 成本预算：单向流因过滤器用量大、风机功率高，初期投入和运行成本显著高于非单向流。

总结